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高纯氮气在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为9
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氮气，化学式为N2，通常状况下是一种无色无味的气体，而且一般氮气比空气密度小。氮气占大气总量的78.08%（体积分数），是空气的主要成份之一。在标准大气压下，氮气冷却至-195.8℃时，变成无色的液体，冷却至-209.8℃时，液态氮变成雪状
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混合气体的性质将混合气体看成一种纯物质时，常使用折合摩尔质量Μ和折合气体常数R混合气体的密度等于各组成气体在混合气体的总压力和温度下之密度与其容积成分的乘积之和。常见的混合气体干燥空气：21%氧气和79%氮气的混合气体 二氧化碳混合气体
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混合气指含有两种或两种以上有效组份，或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的气体。由几种气体组成的混合物，是工程上常用的工质。混合气体通常被当作理想气体研究。混合气体的性质取决于组成气体的种类和成分。混合气体的成分有3种表示方法。 ①容
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氧气的化学性质比较活泼。除了稀有气体、活性小的金属元素如金、铂、银之外，大部分的元素都能与氧气反应，这些反应称为氧化反应，而经过反应产生的化合物（有两种元素构成，且一种元素为氧元素）称为氧化物。一般而言，非金属氧化物的水溶液呈酸性，而碱金属
